Entwicklung von AI20 3-PECVD-Schichten
Status | abgeschlossen |
---|---|
Ziele | 1. Steigerung des Verständnisses der Korrelation zwischen Prozessbedingungen, Konstitution und Schichteigenschaften |
Weitere Informationen für Mitglieder des Industrieverband Massivumformung e.V.
Zum Aufruf der Inhalte müssen Sie über einen gültigen Benutzernamen und ein Kennwort für den Mitgliederbereich verfügen.